在微電子制造領(lǐng)域,光刻膠作為一種關(guān)鍵的高分子化合物,應(yīng)用于芯片、光學(xué)器件、微機(jī)電系統(tǒng)等微型器件的制造過程中,光刻膠的生產(chǎn)需要在嚴(yán)格控制的溫度條件下進(jìn)行。
專為光刻膠生產(chǎn)設(shè)計的防爆油式模溫機(jī),不僅能夠有效控制溫度,還具備以下顯著優(yōu)點:
整機(jī)隔離式防爆設(shè)計:光刻膠在反應(yīng)過程中可能會產(chǎn)生氣體,存在引發(fā)火災(zāi)或爆炸的風(fēng)險。防爆油式模溫機(jī)采用整機(jī)隔離式防爆設(shè)計,符合EXdIIBT4級別的標(biāo)準(zhǔn),有效防止火花、靜電或熱源引發(fā)的危險,確保生產(chǎn)過程的安全。
PLC編程控制:PLC編程控制系統(tǒng)可以根據(jù)工藝要求自動調(diào)節(jié)溫度、壓力、流量等參數(shù)。用戶可以通過觸摸屏或遠(yuǎn)程控制器方便地監(jiān)測和操作設(shè)備,提高生產(chǎn)效率。
強(qiáng)大的冷卻功能:在反應(yīng)釜控溫光刻膠時,防爆油式模溫機(jī)能夠及時將多余的熱量排出,保持反應(yīng)溫度在150度左右。這不僅提高了冷卻效率,還節(jié)省了空間。
防爆油式模溫機(jī)已經(jīng)在多家半導(dǎo)體材料行業(yè)的客戶中成功應(yīng)用,并獲得一致好評。其溫度控制和安全防爆設(shè)計,顯著提高了光刻膠的生產(chǎn)效率和質(zhì)量,減少了生產(chǎn)成本和風(fēng)險。
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